Нанотехнологии и микромеханика. Часть 4. Зондовые нанотехнологии

Жанр: Учебная литература

Авторы: Валерий Михайлович Башков, Юрий Александрович Иванов, Нина Валентиновна Федоркова, Василий Дмитриевич Шашурин

Страницы:57

Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».