Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Авторы: Вадим Анатольевич Шахнов, Владимир Анатольевич Соловьев, Андрей Игоревич Власов, Юрий Михайлович Миронов, Андрей Александрович Жуков, Евгений Владимирович Кульгашов, Владимир Михайлович Школьников, Дмитрий Владимирович Козлов, Арина Александровна Адамова, Елена Викентьевна Резчикова, Владимир Михайлович Башков

Страницы:133

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).