Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса

Авторы: Сергей Павлович Бычков, Илларион Павлович Ли, В. С. Петров, А. А. Полунина, И. Ф. Ханбеков, В. В. Васильевский, Д. Н. Локтев

Страницы:120

Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника» в рамках дисциплины «Термовакуумные процессы и оборудование». Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.