Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Жанр: Педагогика

Авторы: Дмитрий Григорьевич Крутогин, Олег Игоревич Рабинович, Сергей Федорович Маренкин, Светлана Владимировна Подгорная

Страницы:90

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».

Похожие книги 9