Жанр: Педагогика
Авторы: Дмитрий Григорьевич Крутогин, Олег Игоревич Рабинович, Сергей Федорович Маренкин, Светлана Владимировна Подгорная
Страницы:90
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
или Войдите